太阳能板检测测显微镜配有落射照明、平场物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,多晶硅片检测测显微镜宜于微小和不方便倒置的试样
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一、用途
高精度硅片检查显微镜GP-500主要用于太阳能板检测显微的观察。太阳能检测显微镜能生产高清晰的图像,立体感较强,成像较清晰视野宽阔,配置有长工作距离物镜,并具有较大的视场范围和相应的放大倍数, 配有高像素的工业相机,可以清晰的看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析,是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜。
单晶硅检测显微镜可以观察到肉眼难观测的大阳能晶体硅片检测、位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析。杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,会使磨片后的硅片易于发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格。显微检测几乎是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一。
二、系统简介
太阳能板检测测显微镜系统是将传统的光学显微镜与计算机(数码相机)通过光电转换有机的结合在一起,不仅可以在目镜上作显微观察,还能在计算机(数码相机)显示屏幕上观察实时动态图像,太阳能板检测测显微镜并能将所需要的图片进行编辑、保存和打印。
三、技术参数
目镜 |
大视野 WF10X(Φ18mm) |
物镜 |
长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL 5X/0.12 |
长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L10X/0.25 |
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长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L20X/0.40 |
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长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L40X/0.60 |
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长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L60X/0.75 (弹簧) |
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目镜筒 |
三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换) |
落射照明系统 |
6V 20W卤素灯,亮度可调 |
落射照明器带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(黄,蓝,绿)滤色片和磨砂玻璃 |
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调焦机构 |
粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,粗动松紧可调,带锁紧和限位装置 |
转换器 |
四孔(内向式滚珠内定位) |
载物台 |
双层机械移动式(尺寸:185mmX140mm,移动范围:75mmX50mm) |
透射照明系统 |
阿贝聚光镜 NA.1.25 可上下升降 |
蓝滤色片和磨砂玻璃 |
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集光器, 卤素灯适用 |
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6V 20W 卤素灯,亮度可调 |
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防霉 |
特有防霉系统 |
系统组成 |
电脑型(GP-500C) 1.硅片专用显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.计算机(选购) |
数码型(GP-500D) 1.硅片专用显微镜 2、适配镜 3、数码相机(选购) |
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选购件 |
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目镜 |
大视野 WF16X(Φ11mm) |
分划 10X(Φ18mm) 格值0.1mm/格 |
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物镜 |
长距平场消色差物镜(无盖玻片) PL L 50X/0.70 |
长距平场消色差物镜(无盖玻片) PL L 80X/0.80 |
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滤色片 |
绿滤色片 |
黄滤色片 |
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CCD接头 |
0.4X |
0.5X |
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1X |
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0.5X带分划尺,格值0.1mm/格 |
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摄像仪 |
DV-1带USB和Video输出 |
DV-2带USB输出 |
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DV-3带Video输出 |
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摄影装置 |
2.5X/4X变倍摄影装置带10X取景目镜 |
4X对焦摄影装置 |
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MD卡环 |
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PK卡环 |
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数码相机接头 |
CANON(A610,A620,A630,A640) |
分析软件 |
二维图像测量分析软件 |
4008920720
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